行程：690×1, 550mm

           尺寸：1,600×1,660mm

　        定位时间：400msec

　        最高速度：500mm/sec

　        真直度（垂直/水平）

　        X轴：±1.2μm、 ±1.13μm

           Y轴： ±2μm、 ±0.63μm 　　　

           速度稳定性：±0.1%（35mm/sec时）

           采样周波数：100Hz